Platine de positionnement piézoélectrique à course longue
max. 1 500 x 1 500 µm
Physik Instrumente
Chaîne en circuit fermé 800 x µm 800 (de voyage µm jusqu'à 1500 possible)
Rectitude améliorée du voyage <1nm
À haute précision, rentable
Résolution à 0.1 nanomètre, 0.02% exactitude de positionnement
Système de guidage de flexure sans friction et à haute précision
Vie exceptionnelle due aux déclencheurs piézo-électriques de PICMA®
Rectitude améliorée du voyage <1nm
À haute précision, rentable
Résolution à 0.1 nanomètre, 0.02% exactitude de positionnement
Système de guidage de flexure sans friction et à haute précision
Vie exceptionnelle due aux déclencheurs piézo-électriques de PICMA®
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