Platine de positionnement compatible vide
max. 10-6 hPa, max. 100 x 100 x 100 µm
Physik Instrumente
Métrologie directe avec les sondes capacitives
Excellente rectitude : fin de bande du µrad <0.1
Système de guidage de flexure sans friction et à haute précision
Métrologie directe avec les sondes capacitives
-
zoom
