Capteur de position capacitif à précision subnanométrique 10 - 500 µm
Physik Instrumente
Pi fournit le duel-plat et les sondes capacitives de simple-plat pour des applications ultra-hautes de sensation de position de précision. Les sondes et les circuits de commande spéciaux avec les circuits de propriété industrielle de l'Ils de pi ont été développés pour fournir les linéarités les plus élevées et la résolution et pour avoir été également utilisés aux étapes nanopositioning de classe de la référence de pi pendant beaucoup d'années.
