SKU Endeffektoren - Série IEE
Pour plaquettes, masques et films jusqu'à 12" (300 mm)
Concept modulaire
Excellente rigidité structurelle
Effecteurs de fin - Série IEE
Les effecteurs sont conçus pour la manipulation des wafers, par exemple pour le transport d'une cassette vers le pré-aligneur. Les effecteurs standard d'iselROBOTIK sont disponibles pour des tailles de plaquettes allant de 50 mm à 300 mm, en version fer à cheval ou palette.
Les effecteurs sont disponibles en option avec de nombreux matériaux de contact différents tels que PTFE, PEEK, VITON, KALREZ. En outre, nous proposons également de nombreux modèles spéciaux pour vos wafers et substrats particuliers. Nous sommes également heureux de concevoir de nouvelles solutions spécialement pour vos besoins individuels.
Caractéristiques
pour des tailles de wafer jusqu'à 18" (450 mm)
concept modulaire
grande rigidité
bon rapport coût/performance
Revêtu de PTFE
Options
différents capteurs de cartographie de plaquettes
plusieurs revêtements de surface
conceptions spéciales : poche - wafer à friction - prise sur le bord - prise dans la zone d'exclusion - vide dans la zone d'exclusion - multiple
intégration d'effecteurs fournis par le client
Conceptions spéciales :
Poche EE
Gaufre à friction - Grip de bord EE
Zone d'exclusion Grip EE
Zone d'exclusion Vacuum EE
EE multiple
Traversée de faisceau E
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