Aligneur de masque pour wafers

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Caractéristiques

Spécifications
pour wafers

Description

Les pré-aligneurs de la série LPA sont des solutions de pré-alignement innovantes, de haute précision, compatibles avec la classe 1 et dotées d'une électronique de balayage intégrée. Les pré-aligneurs sont conçus et fabriqués par Logosol, Inc. USA et isel Germany AG est le distributeur exclusif autorisé pour l'Europe Description Les pré-aligneurs de la série LPA sont des solutions de pré-alignement innovantes, de haute précision, compatibles avec la classe 1 et dotées d'une électronique de balayage intégrée. Les pré-aligneurs sont conçus et fabriqués par Logosol, Inc. USA et isel Germany AG est le distributeur exclusif autorisé pour l'Europe. Caractéristiques - Temps de cycle d'alignement < 2,5 secondes - Mesure sans contact par LED et capteur CCD - Electronique de balayage intégrée - Chargement du mandrin - Changement de taille de wafer sans modification mécanique - Plaquettes transparentes, semi-transparentes, perforées et opaques alihnables - Spécifications SEMI, Flat et Notch wafer - Pour les tailles de wafer de 3'' à 12'' - Configurations de câbles à entrée latérale et à entrée arrière

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* Les prix s'entendent hors taxe, hors frais de livraison, hors droits de douane, et ne comprennent pas l'ensemble des coûts supplémentaires liés aux options d'installation ou de mise en service. Les prix sont donnés à titre indicatif et peuvent évoluer en fonction des pays, des cours des matières premières et des taux de change.