Les pré-aligneurs de la série LPA sont des solutions de pré-alignement innovantes, de haute précision, compatibles avec la classe 1 et dotées d'une électronique de balayage intégrée.
Les pré-aligneurs sont conçus et fabriqués par Logosol, Inc. USA et isel Germany AG est le distributeur exclusif autorisé pour l'Europe
Description
Les pré-aligneurs de la série LPA sont des solutions de pré-alignement innovantes, de haute précision, compatibles avec la classe 1 et dotées d'une électronique de balayage intégrée.
Les pré-aligneurs sont conçus et fabriqués par Logosol, Inc. USA et isel Germany AG est le distributeur exclusif autorisé pour l'Europe.
Caractéristiques
- Temps de cycle d'alignement < 2,5 secondes
- Mesure sans contact par LED et capteur CCD
- Electronique de balayage intégrée
- Chargement du mandrin
- Changement de taille de wafer sans modification mécanique
- Plaquettes transparentes, semi-transparentes, perforées et opaques alihnables
- Spécifications SEMI, Flat et Notch wafer
- Pour les tailles de wafer de 3'' à 12''
- Configurations de câbles à entrée latérale et à entrée arrière
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