Régulateur de débit massique thermique SEC-Z500X series

pour gaznumériqueanalogique

Régulateur de débit massique numérique multi-gammes/multi-gaz Il s'agit du modèle de régulateur de débit massique numérique le plus vendu de HORIBA. Il possède des fonctions multi-gammes/multi-gaz permettant aux utilisateurs de changer le type de gaz ou le débit à pleine échelle sur site rapidement et facilement. Avec une haute précision de +/- 1,0 % S.P., une vanne à actionneur piézoélectrique, une réponse à haute vitesse et étant entièrement métallique, ce contrôleur de débit massique est adapté à l'amélioration du rendement des processus et à la gestion simplifiée des pièces. Les communications numériques/analogiques, DeviceNet™ et EtherCAT® sont toutes disponibles. Haute précision ±1.0% S.P. La linéarité de ce contrôleur de débit massique est compensée par une courbe approximative polynomiale et atteint une haute précision pour toutes les plages de contrôle de débit. Afin d'améliorer la précision du gaz réel, les données d'étalonnage de divers gaz de procédé sont mesurées par le système de mesure de gaz standard de HORIBA STEC. Réponse à grande vitesse Installé avec le "système PID variable", qui peut atteindre une réponse d'une seconde entre deux points de consigne. Le système PID variable change continuellement en fonction du réglage du point de débit. Cela permet d'optimiser le facteur PID lorsque le débit et les gaz à pleine échelle sont modifiés. Solution multigaz/multigamme Le logiciel de configuration permet de modifier les spécifications rapidement et facilement. Une caractéristique clé est que les changements peuvent être effectués sans retirer le contrôleur de débit massique du panneau de gaz ou de la tuyauterie. Cela réduit le nombre de régulateurs de débit massique de rechange nécessaires, ce qui permet de gagner du temps et de l'argent. Le contrôleur de débit massique SEC-Z500X convient à diverses applications ainsi qu'à la fabrication de semi-conducteurs.