Système de surveillance de concentration CS-600F

de températurede mesurechimique

Le CS-600F atteint un plus haut niveau de fonctionnalité mieux adapté à la fabrication, comme la capacité d'effectuer des mesures en ligne de solutions chimiques à haute température dans diverses applications, un fonctionnement stable pour réduire les temps d'arrêt et une taille compacte pour améliorer la productivité spatiale afin de répondre à la gestion précise de la concentration des solutions chimiques requise dans les procédés humides de pointe pour semi-conducteur. Tailles réduites pour une mise en page plus flexible Le moniteur CS-600F est de taille compacte ; sa hauteur a été réduite de 36 %, son volume de 40 % et l'espace requis par les câbles cellulaires de 46 % par rapport aux modèles précédents (série CS-100F1). L'unité de la source lumineuse et le corps principal du moniteur peuvent être installés à distance et dans des emplacements séparés, ce qui permet une flexibilité d'installation en fonction de l'emplacement de l'unité de solution chimique et de l'équipement de nettoyage. Mesure en ligne à haute stabilité de solutions chimiques à haute température (20 à 80℃) Le tout nouveau système optique et les algorithmes de traitement améliorés permettent la mesure en ligne de solutions chimiques à haute température, une étape critique pour les procédés humides de pointe. Le CS-600F de HORIBA offre une grande stabilité, permet une gestion plus efficace et plus précise des solutions chimiques et élimine le besoin de refroidir l'échantillon chimique. Fréquence de correction de l'arrière-plan considérablement réduite La fréquence de correction régulière est considérablement réduite par rapport au modèle précédent (série CS-100F1), ce qui réduit considérablement le temps d'arrêt de l'unité et contribue grandement à améliorer le débit. Un seul moniteur est capable de mesurer jusqu'à six types de solutions chimiques (types de solutions ou gammes)