Évaporateur de gaz IR-300

evapo-concentration

Le procédé de dépôt chimique en phase vapeur métal-organique (MOCVD) est largement utilisé dans la fabrication de DEL, de dispositifs optiques et d'autres composants. Les précurseurs liquides et solides sont introduits dans la chambre de réaction en contrôlant la température, la pression et le débit du gaz porteur (méthode par barbotage). La série IR-300 en ligne mesure et signale la concentration des précurseurs en temps réel, ce qui offre à l'utilisateur les avantages suivants : Optimiser le contrôle du processus pour produire davantage de dispositifs de haute qualité Améliorer le rendement des dispositifs et réduire les rebuts Améliorer la reproductibilité Savoir quand un bulleur doit être remplacé Prolonger le MTTA Réduire les interventions non planifiées Réduire les déchets de précurseurs précieux Surveillance en temps réel Une réponse rapide et une excellente répétabilité permettent de suivre en temps réel les variations de la concentration de vapeur Fonction de courbe d'étalonnage multiple (en option) Permet de mesurer la concentration de jusqu'à 3 produits chimiques ou gammes de produits Fonction multi-affichage La fonction multi-affichage située sur le dessus de l'unité IR-300 permet à l'utilisateur de vérifier sur place la surveillance de la concentration et l'état de la ligne d'alimentation en précurseurs Fonction de communication Connectivité par DeviceNet™, RS485 et communications analogiques Conception simple et compacte Avec une taille face à face de 124 mm, la conception compacte et sans orientation de montage de l'unité permet une intégration facile