Système de contrôle de la vaporisation des sources liquides à grand débit
Un vaporisateur de liquide à haut débit et à haut rendement, avec des canaux d'écoulement et des éléments chauffants intégrés dans un bloc d'aluminium moulé qui assure un transfert de chaleur maximal et l'élimination des points froids et du risque de condensation. Ce système de contrôle de la vaporisation des sources liquides peut fonctionner jusqu'à 300 °C et vaporiser jusqu'à 30 g/min d'IPA (ou équivalent).
Caractéristiques
Conception innovante qui maximise le taux de vaporisation
La nouvelle buse d'injection assure une injection régulière du liquide, ce qui contribue à la stabilité de la concentration de la vapeur produite
Le circuit d'écoulement est entièrement en acier inoxydable pour une résistance maximale à la corrosion et une production minimale de particules
Compatible avec de nombreux types de matériaux précurseurs.
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