Unité de traitement de données 5500 series

Dépôt en ligne de couches minces à faible coût Le système APCVD SCHMID offre l'alternative la plus économique pour le dépôt de films diélectriques. Dans le système de transport à rouleaux, seul le substrat est chauffé pendant le processus, ce qui réduit considérablement les besoins en électricité et en refroidissement. Plusieurs têtes d'injection peuvent être utilisées en série dans un même système APCVD. Trois niveaux d'isolation gradués et économes en énergie réduisent encore davantage les factures d'énergie. Le système en ligne est disponible en deux configurations : avec transport à bande ou avec transport à rouleaux. Chaque mode de transport a ses avantages. Le système APCVD de SCHMID, qui a fait ses preuves en production, comprend plusieurs têtes d'injection en série pour maximiser le débit, l'uniformité et la flexibilité du processus tout en réduisant les coûts. L'IHM de classe mondiale permet au client de surveiller et de contrôler facilement tous les paramètres du processus dans un environnement à écran tactile convivial. La conception qui exige un entretien rigoureux permet de nettoyer les injecteurs de produits chimiques et les conduits d'évacuation pendant qu'ils sont en place sur le système et sans interruption importante du procédé. Les têtes d'injection de vapeur chimique modulaires permettent une installation et un retrait rapides et faciles de la chambre de revêtement. Toutes les pièces de la tête d'injecteur sont des structures usinées avec précision et durables qui assurent une distribution précise des produits chimiques même après une utilisation prolongée. Les systèmes thermiques de SCHMID sont devenus célèbres pour leur stabilité de processus, et le système APCVD perpétue cette tradition. Un contrôle stable et inégalé de l'uniformité de la température garantit des résultats de processus cohérents. De plus, la précision de l'évacuation des gaz d'échappement et le contrôle du débit des précurseurs garantissent des résultats de film homogènes.