La plateforme VULCANO XYZ3TH est réalisée sur la base d'un système VULCANO XY standard agrémenté d'un module combiné Z3TH. Ce module à 4 degrés de liberté, fourni une rotation Theta de 364°, un double axe Z (un grossier pour le chargement/déchargement du wafer et un fin pour le réglage de la mise au point) mais également une correction Tip-Tilt jusqu'à ±0.1°.
Caractéristiques
- Faible encombrement
- Stabilité de position dans le nanomètre
- Haute dynamique: 2.5g, 1.5 m/s
- Court temps de stabilisation après mouvement
- Compatibilité salle blanche ISO1
- Correction Tip-Tilt jusqu'à ±0.1°
- Intégration du double Z
- Compensateur de gravité intégré en Z
- Exceptionnelle rectitude du Z
- Répétabilité et jitter du Z amélioré
- Faculté à corriger la planéité du système
- Vacuum traversant au niveau du chuck