Module de contrôle pour wafers VULCANO XYZ3TH
6 axes

module de contrôle pour wafers
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Caractéristiques

Spécifications
pour wafers, 6 axes

Description

La plateforme VULCANO XYZ3TH est réalisée sur la base d'un système VULCANO XY standard agrémenté d'un module combiné Z3TH. Ce module à 4 degrés de liberté, fourni une rotation Theta de 364°, un double axe Z (un grossier pour le chargement/déchargement du wafer et un fin pour le réglage de la mise au point) mais également une correction Tip-Tilt jusqu'à ±0.1°. Caractéristiques - Faible encombrement - Stabilité de position dans le nanomètre - Haute dynamique: 2.5g, 1.5 m/s - Court temps de stabilisation après mouvement - Compatibilité salle blanche ISO1 - Correction Tip-Tilt jusqu'à ±0.1° - Intégration du double Z - Compensateur de gravité intégré en Z - Exceptionnelle rectitude du Z - Répétabilité et jitter du Z amélioré - Faculté à corriger la planéité du système - Vacuum traversant au niveau du chuck

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BIEMH 2024
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3-07 juin 2024 Bilbao (Espagne) Hall 6 - Stand C-04

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    * Les prix s'entendent hors taxe, hors frais de livraison, hors droits de douane, et ne comprennent pas l'ensemble des coûts supplémentaires liés aux options d'installation ou de mise en service. Les prix sont donnés à titre indicatif et peuvent évoluer en fonction des pays, des cours des matières premières et des taux de change.