Module de contrôle pour wafers VULCANO XYT3 axes
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Caractéristiques
- Spécifications
- 3 axes, pour wafers
Description
La plateforme VULCANO XYT est réalisée sur la base d'un système VULCANO XY standard agrémenté d'un module rotatif RTTB qui comprend un codeur haute résolution couplé à un exceptionnel roulement mécanique.
L'utilisation de cette plateforme convient pour les marchés suivants sans y être limité:
- Applications du processus de contrôle de wafer tels que "Overlay Metrology", "Critical Dimension" et "Thin Film Metrology"
- Back-end: processus spécifique de flip-chip réalisé sur de larges paneaux/substrats
Caractéristiques :
- Faible encombrement
- Stabilité de position dans le nanomètre
- Court temps de stabilisation après mouvement
- Haute dynamique
- Haute répétabilité bidirectionnelle
- Haute stabilité de position
- Compatibilité salle blanche ISO1
VIDÉO
Catalogues
VULCANO Platform leaflet
3 Pages
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* Les prix s'entendent hors taxe, hors frais de livraison, hors droits de douane, et ne comprennent pas l'ensemble des coûts supplémentaires liés aux options d'installation ou de mise en service. Les prix sont donnés à titre indicatif et peuvent évoluer en fonction des pays, des cours des matières premières et des taux de change.