La plateforme VULCANO XYT est réalisée sur la base d'un système VULCANO XY standard agrémenté d'un module rotatif RTTB qui comprend un codeur haute résolution couplé à un exceptionnel roulement mécanique.
L'utilisation de cette plateforme convient pour les marchés suivants sans y être limité:
- Applications du processus de contrôle de wafer tels que "Overlay Metrology", "Critical Dimension" et "Thin Film Metrology"
- Back-end: processus spécifique de flip-chip réalisé sur de larges paneaux/substrats
Caractéristiques :
- Faible encombrement
- Stabilité de position dans le nanomètre
- Court temps de stabilisation après mouvement
- Haute dynamique
- Haute répétabilité bidirectionnelle
- Haute stabilité de position
- Compatibilité salle blanche ISO1