Platine XYZ piézoélectrique
max. 180 µm | XYZ200M
CEDRAT TECHNOLOGIES
Description: La platine piézoélectrique XYZ200M est basée sur les actionneurs APA 200M et possède une haute rigidité. Parmi les applications on peut citer le positionnement de masque, la microscopie confocale et à balayage.
Performance: Déplacement max à vide (µm): 180 Poids (mm): 44 Dimensions (mm): 18*100*100 Résolution (nm): 1,8 Fréquence de résonance à vide (Hz): 380 Temps de réponse: 1,32
Available options: Strain Gages; Eddy Current Sensors, Vacuum
Status:Standard
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