L'architecture hybride unique de HybrYX offre les caractéristiques de fonctionnement exceptionnelles suivantes pour des applications exigeantes de balayage :
Z-Frousse et rectitude dynamique de moins que ±25nm pendant le mouvement à grande vitesse
- Améliorer que 0.1% ondulation de vitesse
- Rendre 1200mm compact de empreinte de pas de 765mm avec 650mm de la gamme de voyage de 350mm
- la moyenne des temps de bon fonctionnement de longue vie et élevée comme palier à air n'est pas limitée par voyage de roulement/expectative life-
